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城大研新型真空紫外光超構透鏡
半導體是電子產品晶片的原材料之一,製作時須使用的真空紫外光成本昂貴,亦須大型機器生產。城市大學電機工程學系的團隊研發新型真空紫外光超構透鏡,直徑僅四十五微米,新透鏡使用方便之餘,亦較現時生產方法效能更高。新型超構透鏡將有助開發低損耗的真空紫外光部件,使真空紫外光的應用更普及。

真空紫外光用途廣泛,包括半導體生產、光化學及材料科學等領域,但部分波長的真空紫外光易被空氣中的氧氣吸收,製作真空紫外光的過程須在真空腔室等特別空間進行,需要以大型系統製作,成本高昂。設計及製造系統運用透鏡時,亦因材料易碎而面臨不少限制。
助開發低損耗部件

城大電機工程學系講座教授蔡定平,與研究助理教授陳沐谷帶領的團隊,獲大學教育資助委員會及研究資助局的「卓越學科領域計畫」撥款,偕美國及台灣多所大學研發新型真空紫外光超構透鏡,由三角形氧化鋅納米天陣列組合而成,直徑僅四十五微米,將能大幅精簡真空紫外光系統的設計,同時推動開發低損耗真空紫外光部件。

透鏡使用的納米結構,有助轉化真空紫外光的波長,更可將轉化後的紫外光,聚焦至直徑小於二百萬分之一米的圓點上,而聚焦光點的功率密度,亦比原有方法增強二十一倍。蔡定平形容,新技術較原有透鏡更輕巧,效能亦更高,為業界提供更便利的方法生產和聚焦非性真空紫外光。他相信研究成果可通過半導體電子製造過程大量生產,並能推動真空紫外光光學技術和市場的革新,研究結果已於學術期刊《科學進展》發表。